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![]() 纳米级刻蚀有序介孔二氧化硅薄膜制备超低折射率光学薄膜
相关领域
材料科学
折射率
薄膜
电介质
微电子
光学
蚀刻(微加工)
纳米尺度
介孔二氧化硅
光电子学
纳米技术
介孔材料
图层(电子)
化学
催化作用
物理
生物化学
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DOI |
10.1364/ol.37.001406
doi
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其它 |
期刊:Optics Letters 作者:Fangting Chi; Lianghong Yan; Hongwei Yan; Bo Jiang; Haibing Lv; et al 出版日期:2012-04-19 |
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