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 Two- and three-dimensional simulation analysis of microwave excited plasma for deposition applications: operation with argon at atmospheric pressure 相关领域
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期刊：Journal of Physics D 作者：M. Baeva; F. Hempel; H. Baierl; T. Trautvetter; Rüdiger Foest; et al 出版日期：2018-07-23 |
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