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Two- and three-dimensional simulation analysis of microwave excited plasma for deposition applications: operation with argon at atmospheric pressure

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作者
Margarita Baeva,F. Hempel,H. Baierl,T. Trautvetter,Rüdiger Foest,Detlef Loffhagen
出处
期刊:Journal of Physics D [IOP Publishing]
卷期号:51 (38): 385202-385202 被引量:26
标识
DOI:10.1088/1361-6463/aad537
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