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标题
Role of brush properties and pH on Cu ion-induced silica loading to polyvinyl acetal brushes during post-CMP cleaning
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.167276
DOI
10.1016/j.apsusc.2026.167276 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Sanjay Bisht; Maheepal Yadav; Se-Hoon Park; Hirokuni Hiyama; Tae-Gon Kim; Jin-Goo Park
出版日期：2026
求助人
系紧鞋带 在 2026-06-03 13:32:23 发布自江苏，悬赏 10 积分
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