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Rapid reflectance-anisotropy spectroscopy as an optical probe for real-time monitoring of thin film deposition 快速反射-各向异性光谱作为薄膜沉积实时监测的光学探针
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期刊:AIP conference proceedings 作者:J. Ortega‐Gallegos; L. E. Guevara-Macías; A. Lastras‐Martínez; D. Ariza-Flores; R. E. Balderas‐Navarro; et al 出版日期:2018-01-01 |
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