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Fabrication of Disordered Nanostructures by Nanosphere Lithography and Its Application for Ultrathin Si Wafers
纳米球光刻制备无序纳米结构及其在超薄硅晶片上的应用
相关领域
纳米结构 薄脆饼 纳米球光刻 材料科学 制作 纳米技术 纳米颗粒 平版印刷术 蚀刻（微加工） 单层 光电子学 图层（电子） 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1007/s11664-021-08974-w
DOI
10.1007/s11664-021-08974-w doi
其它 期刊：Journal of Electronic Materials
作者：Moonchan Park; Sieun Cheon; Youngseok Lee; Inho Kim
出版日期：2021-07-01
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唠叨的灯泡 在 2025-08-24 16:26:01 发布，悬赏 10 积分
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