Experiment and simulation study of laser dicing silicon with water-jet

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标题	Experiment and simulation study of laser dicing silicon with water-jet 水射流激光切割硅的实验与仿真研究相关领域材料科学激光器晶片切割喷射（流体）硅粒子（生态学）机械加工辐照复合材料光学机械光电子学冶金核物理学地质学物理海洋学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.06.135
DOI	10.1016/j.apsusc.2016.06.135 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jianmin Bao; Yuhong Long; Youqun Tong; Xiaoqing Yang; Bin Zhang; et al 出版日期：2016-11-01
求助人	VERRICKT 在 2025-02-17 12:41:17 发布自吉林，悬赏 10 积分
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