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 C-Axis Aligned Crystalline InSnZnO Thin Film Using Mist Chemical Vapor Deposition and Deposition/Annealing Cyclic Method for Thin-Film Transistors Applications 用于薄膜晶体管的雾化化学气相沉积和沉积/退火循环法制备的C轴取向晶体InSnZnO薄膜
相关领域
薄膜晶体管
薄膜
化学气相沉积
X射线光电子能谱
退火（玻璃）
材料科学
无定形固体
分析化学（期刊）
光电子学
物理
图层（电子）
纳米技术
结晶学
化学
有机化学
复合材料
核磁共振
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期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Han-Yin Liu; Hao-Chun Hung; Yu-Liang Hsu; Ching-Sung Lee; Meng-Yin Hsu; et al 出版日期：2023-07-01 |
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