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 Thermal Atomic Layer Etching Process for 2D van der Waals Material CrPS4 二维范德华材料CrPS4的热原子层刻蚀工艺
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材料科学
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蚀刻（微加工）
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期刊：Chemistry of Materials 作者：Marissa Pina; Matthew P. Whalen; John Q. Xiao; Andrew V. Teplyakov 出版日期：2024-08-08 |
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