Single Rare-Earth Ion Doped Tin-Oxo Nanocluster Photoresists for High-Resolution Extreme Ultraviolet Lithography

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标题	Single Rare-Earth Ion Doped Tin-Oxo Nanocluster Photoresists for High-Resolution Extreme Ultraviolet Lithography 相关领域锡平版印刷术兴奋剂极紫外光刻材料科学稀土紫外线纳米技术离子抵抗极端紫外线光电子学天体生物学光学化学物理激光器冶金有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.4c06140
DOI	10.1021/acs.nanolett.4c06140 doi
其它	期刊：Nano Letters 作者：Fangfang Liu; Guangyue Shi; Zhen Ni; Zuohu Zhou; Taoli Guo; et al 出版日期：2025-01-26
求助人	昭昭昭昭在 2026-01-16 10:45:12 发布自湖北，悬赏 10 积分
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