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 Single Rare-Earth Ion Doped Tin-Oxo Nanocluster Photoresists for High-Resolution Extreme Ultraviolet Lithography 相关领域
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期刊：Nano Letters 作者：Fangfang Liu; Guangyue Shi; Zhen Ni; Zuohu Zhou; Taoli Guo; et al 出版日期：2025-01-26 |
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