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Competitive Gettering of Impurities between Oxide Precipitates and Film Stress in Silicon Wafers
相关领域
材料科学 吸气剂 薄脆饼 杂质 硅 氧化物 光电子学 纳米技术 冶金 有机化学 化学
网址
https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2018s/subject/18p-D1...
AI链接 atlas.jp
DOI
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其它 期刊：The Japan Society of Applied Physics
作者：Kazuhisa Torigoe; Toshiaki Ono
出版日期：2018-02-08
求助人
lgh 在 2026-01-16 13:37:39 发布自陕西，悬赏 10 积分
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