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Competitive Gettering of Impurities between Oxide Precipitates and Film Stress in Silicon Wafers
相关领域
材料科学
吸气剂
薄脆饼
杂质
硅
氧化物
光电子学
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化学
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期刊：The Japan Society of Applied Physics 作者：Kazuhisa Torigoe; Toshiaki Ono 出版日期：2018-02-08 |
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