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[高分]
 A study of ultra-precision processing mechanism of SiC crystals by MD simulation SiC晶体超精密加工机理的MD模拟研究
相关领域
机制（生物学）
材料科学
机械工程
纳米技术
工程类
物理
量子力学
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期刊：Procedia CIRP 作者：AI Tian-cheng; Dongdong Xu; Yao Li; Peng Xiao 出版日期：2025-01-01 |
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