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标题
FCVD Anneal Process for Fin CD Loss Reduction Study
降低翅片CD损耗的FCVD退火工艺研究
相关领域
鳍 材料科学 退火（玻璃） 进程窗口 沟槽 光电子学 过程（计算） MOSFET 晶体管 电气工程 纳米技术 复合材料 计算机科学 工程类 图层（电子） 平版印刷术 电压 操作系统
网址
https://doi.org/10.1109/cstic55103.2022.9856795
DOI
10.1109/cstic55103.2022.9856795 doi
其它 期刊：
作者：Jun Yin; Yanxia Hao; Yinshuai Wang
出版日期：2022-06-20
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Lxjie 在 2025-06-19 16:09:44 发布自浙江，悬赏 10 积分
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