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 Uncertainty and sensitivity analysis of gas-phase chemistry in a CHF3plasma CHF3等离子体气相化学的不确定度和灵敏度分析
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Deepak Bose; M. V. V. S. Rao; T. R. Govindan; M. Meyyappan 出版日期：2003-04-07 |
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