Effects of different annealing temperature on the optoelectrical properties of MGZO thin films prepared by co-sputtering method - 科研通

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标题	Effects of different annealing temperature on the optoelectrical properties of MGZO thin films prepared by co-sputtering method 不同退火温度对共溅射MGZO薄膜光电性能的影响相关领域退火（玻璃）溅射材料科学透射率导电体电阻率和电导率薄膜粒度复合材料光电子学纳米技术电气工程工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-019-04360-z
DOI	10.1007/s00542-019-04360-z doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Tao‐Hsing Chen; Min-Wen Wang; Chia-Ling Yang; Yu‐Sheng Huang 出版日期：2019-02-25
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