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Effects of different annealing temperature on the optoelectrical properties of MGZO thin films prepared by co-sputtering method

退火（玻璃）溅射材料科学透射率导电体电阻率和电导率薄膜粒度复合材料光电子学纳米技术电气工程工程类

作者

Tao‐Hsing Chen,Min-Wen Wang,Chia-Ling Yang,Yu‐Sheng Huang

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2019-02-25 卷期号：25 (5): 2109-2115 被引量：2

标识

DOI：10.1007/s00542-019-04360-z

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