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Methods to Measure the Critical Dimension of the Bottoms of Through-Silicon Vias Using White-Light Scanning Interferometry
用白光扫描干涉法测量硅通孔底部临界尺寸的方法
相关领域
白光干涉法 光学 薄脆饼 材料科学 干涉测量 扫描电子显微镜 数值孔径 临界尺寸 高斯分布 通过硅通孔 重复性 横截面（物理） 光电子学 物理 数学 统计 量子力学 波长
网址
https://doi.org/10.3807/josk.2014.18.5.531
DOI
10.3807/josk.2014.18.5.531 doi
其它 期刊：Journal of the Optical Society of Korea
作者：Changhong Hyun; Seongryong Kim; Heui-Jae Pahk
出版日期：2014-10-25
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眼睛大秋双 在 2025-05-20 12:50:51 发布自中国，悬赏 10 积分
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