Dry etching strategy of spin-transfer-torque magnetic random access memory: A review

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标题	Dry etching strategy of spin-transfer-torque magnetic random access memory: A review 自旋转移转矩磁随机存取存储器的干法刻蚀策略研究进展相关领域磁阻随机存取存储器蚀刻（微加工）干法蚀刻反应离子刻蚀旋转扭矩传递材料科学光电子学等离子体刻蚀扭矩纳米技术图层（电子）计算机科学随机存取存储器磁场磁化物理计算机硬件量子力学热力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000205
DOI	10.1116/6.0000205 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Rabiul Islam; Bo Cui; Guo‐Xing Miao 出版日期：2020-08-12
求助人	Stephhen 在 2025-04-16 15:42:21 发布自江苏，悬赏 10 积分
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