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Multi-generation CVD low κ films for 0.13 μm and beyond |
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期刊:2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443) 作者:P.W. Lee; Chi-I Lang; D. Sugiarto; Li-Qun Xia; M. Gotuaco; E. Yieh 出版日期:2001 |
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