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标题
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
HfO2薄膜的制备及性能研究
相关领域
X射线光电子能谱 化学气相沉积 硅化物 材料科学 薄膜 退火(玻璃) 分析化学(期刊) 单斜晶系 介电常数 硅酸盐 形成气体 电介质 高-κ电介质 化学 化学工程 光电子学 结晶学 纳米技术 晶体结构 冶金 有机化学 工程类
网址
DOI
10.1007/s10789-005-0305-8 doi
其它 期刊:Inorganic materials
作者:L. V. Yakovkina; V. N. Kichai; T. P. Smirnova; В. В. Каичев; Yu. V. Shubin; et al
出版日期:2005-12-01
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