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Unleashing the Power of 2D MoS2: In Situ TEM Study of Its Potential as Diffusion Barriers in Ru Interconnects
释放2D MoS2的能量:其在Ru互连中作为扩散势垒的原位TEM研究
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Ping Feng; Kai‐Yuan Hsiao; Dun-Jie Jhan; Yulin Chen; Pei Yuin Keng; et al 出版日期:2023-10-04 |
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