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标题
Oxidation process of SiGe on SOI substrates
SOI衬底上SiGe的氧化过程
相关领域
绝缘体上的硅 材料科学 氧化法 过程(计算) 光电子学 工程物理 纳米技术 计算机科学 化学工程 工程类 操作系统
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2005.07.066 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Bo Jin; Xi Wang; Jing Chen; Feng Zhang; Xinli Cheng; et al
出版日期:2005-09-16
求助人
qazwsxedc 在 2024-10-24 20:25:38 发布自河北,悬赏 10 积分
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