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 Rapid Extraction of the Dielectric Constant of Atomically Thin ZrO2 Prepared through Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching 原子层沉积和原子层刻蚀制备原子级薄ZrO2介电常数的快速提取
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材料科学
原子层沉积
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：S. K. Oh; Sangmin Lee; Won‐Jun Lee; Byungchul Cho; Sang-Joon Park; et al 出版日期：2025-01-01 |
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