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 Final report of CCQM-K157 for the measurement of the amount of substance of HfO2 expressed as the thickness of nm films 相关领域
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期刊：Metrologia 作者：Kyung Joong Kim; Hong-Yu YU; S M Lee; Ji‐Hwan Kwon; H Ruh; et al 出版日期：2023-01-01 |
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