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标题
Gradient-based source mask and polarization optimization with the hybrid Hopkins–Abbe model
网址
https://www.spiedigitallibrary.org/journalArticle/Download?u...
DOI
10.1117/1.jmm.19.3.033201 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
作者：Ming Ding; Zhiyuan Niu; Fang Zhang; Linglin Zhu; Weijie Shi; et al
出版日期：2020-09-09
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