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Optical constants of magnetron sputtered aluminum in the range 17–1300 eV with improved accuracy and ultrahigh resolution in the L absorption edge region
磁控溅射铝的光学常数在17-1300 eV范围内,在L吸收边区域具有改进的精度和超高分辨率
相关领域
光子能量 极紫外光刻 溅射沉积 透射率 吸收(声学) 材料科学 航程(航空) 折射率 吸收边 光子 光学 腔磁控管 原子物理学 光电子学 分析化学(期刊) 薄膜 化学 溅射 物理 纳米技术 带隙 冶金 色谱法 复合材料
网址
DOI
10.1063/5.0233781 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Catherine Burcklen; Franck Delmotte; Jennifer Alameda; F. Salmassi; Eric M. Gullikson; et al
出版日期:2024-11-20
求助人
搜集达人 在 2025-12-17 22:38:12 发布自四川,悬赏 10 积分
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