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 Lattice structure evolution mechanism of carbon and hydrogen co-doped AlN thin films with temperature 碳氢共掺杂AlN薄膜晶格结构随温度的演化机制
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期刊：Vacuum 作者：Yu Wu; Lingbo Dong; Zhengyang Qiao; Hongchuan Jiang; Xiaohui Zhao; et al 出版日期：2025-04-01 |
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