| 标题 |
 A piezoelectric MEMS microphone with proof mass and its array 具有验证质量的压电MEMS传声器及其阵列
相关领域
总谐波失真
材料科学
微电子机械系统
线性
压电
电容
灵敏度（控制系统）
制作
光电子学
验证质量
声学
薄脆饼
电子工程
电气工程
工程类
电压
电极
物理
复合材料
医学
替代医学
病理
量子力学
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| 其它 |
期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Liangyu Lu; Wenjuan Liu; Bohao Hu; Chaoxiang Yang; Zekai Wang; et al 出版日期：2024-08-02 |
| 求助人 |
深情安青
在
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