Hydrodynamic Investigation of Ultraclean Wafer Drying Combining Marangoni Effect and Centrifugal Force

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标题	Hydrodynamic Investigation of Ultraclean Wafer Drying Combining Marangoni Effect and Centrifugal Force 结合Marangoni效应和离心力的超净硅片干燥流体力学研究相关领域马朗戈尼效应材料科学薄脆饼转速润湿离心力复合材料表面张力机械机械工程纳米技术工程类热力学物理
网址	https://doi.org/10.1149/2162-8777/accd98
DOI	10.1149/2162-8777/accd98 doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Changkun Li; kun li; Zili Cao; Dewen Zhao; Xinchun Lu 出版日期：2023-04-01
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