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[高分]
 Multi-function optical characterization and inspection of MEMS components using stroboscopic coherence scanning interferometry 利用频闪相干扫描干涉法对MEMS元件进行多功能光学表征和检测
相关领域
微电子机械系统
干涉测量
光学
白光干涉法
振动
连贯性（哲学赌博策略）
频闪仪
带宽（计算）
声学
材料科学
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物理
光电子学
电信
量子力学
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期刊：Advanced Optical Technologies 作者：Abraham Mario Tapilouw; Liang-Chia Chen; Xuan-Loc Nguyen; Jinliang Chen 出版日期：2014-08-01 |
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