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 Manufacturing and Measurement of CMOS-MEMS-Based Micro Thermoelectric Generators with Long-Length Thermocouples 基于CMOS-MEMS的长热电偶微型热电发生器的制造与测量
相关领域
热电偶
热电效应
CMOS芯片
材料科学
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制作
电气工程
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机械工程
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Zhi‐Xuan Dai; Chunyu Chen; Bornain Chiu; Chi‐Yuan Lee 出版日期：2024-05-30 |
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