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 Enchanced reflectance SiN$_x$ / SiO$_x$ DBR mirror based on TEOS precursor fabricated by PECVD method 基于TEOS前驱体的PECVD增强反射率SiN$_x$/SiO$_x$DBR反射镜
相关领域
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
表面粗糙度
表面光洁度
硅
反射率
分布式布拉格反射镜
光学
氧化硅
化学气相沉积
光电子学
氮化硅
复合材料
物理
波长
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期刊：arXiv (Cornell University) 作者：I. M. Asharchuk; M. V. Shibalov; Alexander Mumlyakov; P.A. Nekludova; G. D. Diudbin; et al 出版日期：2021-12-22 |
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