Al-implantation induced damage in 4H-SiC

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标题	Al-implantation induced damage in 4H-SiC 4H-SiC中铝注入引起的损伤相关领域材料科学复合材料工程物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108241
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108241 doi
其它	期刊：Materials science in semiconductor processing 作者：Piyush Kumar; Maria Isabel Mello Martins; Marianne Etzelmüller Bathen; Thomas Prokscha; Ulrike Großner 出版日期：2024-05-01
求助人	任风在 2024-04-28 14:55:49 发布自山东，悬赏 10 积分
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