The preparation of thin films by physical vapour deposition methods

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标题	The preparation of thin films by physical vapour deposition methods 物理气相沉积法制备薄膜相关领域聚结（物理）薄膜动能沉积（地质）化学气相沉积材料科学真空沉积气相沉积化学工程电离纳米技术物理气相沉积化学物理化学物理工程类有机化学经典力学古生物学沉积物离子天体生物学生物
网址	https://doi.org/10.1016/0040-6090(90)90277-k
DOI	10.1016/0040-6090(90)90277-k doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：K. Reichelt; Xin Jiang 出版日期：1990-10-01
求助人	彩色冥幽在 2024-04-21 15:42:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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