Improved design of mmWave test structures for BEoL varactors based on HfO2/ZrO2 superlattice

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标题	Improved design of mmWave test structures for BEoL varactors based on HfO2/ZrO2 superlattice
网址	https://doi.org/10.1117/12.3081776
DOI	10.1117/12.3081776 doi
其它	期刊：Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XIX 作者：Sukhrob Abdulazhanov; Quang Huy Le; David Lehninger; Thomas Kämpfe 出版日期：2026-01-21
求助人	llllll 在 2026-03-17 21:48:50 发布自陕西，悬赏 20 积分
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