Compatibility between polymethacrylate-based extreme ultraviolet resists and TiO2 area-selective deposition

已完结

文献求助详情

标题	Compatibility between polymethacrylate-based extreme ultraviolet resists and TiO2 area-selective deposition 相关领域抵抗极紫外光刻极端紫外线材料科学 X射线光电子能谱甲基丙烯酸光刻甲基丙烯酸酯聚合物化学工程化学纳米技术光学复合材料共聚物激光器物理工程类图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/1.jmm.21.4.041407
DOI	10.1117/1.jmm.21.4.041407 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Rachel A. Nye; Kaat Van Dongen; Hironori Oka; Danilo De Simone; Gregory N. Parsons; et al 出版日期：2022-11-04
求助人	芝昂张在 2022-11-11 21:10:04 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 论文查重

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

更新

新增期刊收藏功能 (2024-03-23)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 假正经完成签到，获得积分10

3秒前; 深情依霜发布了新的文献求助10

3秒前; 鱼遇完成签到，获得积分10

6秒前; 传奇3的应助被咎不可采纳，获得10

7秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

7秒前; 顾矜的应助被魏青白采纳，获得10

9秒前; 曹曹发布了新的文献求助10

10秒前; Hello的应助被深情依霜采纳，获得10

12秒前; 蓝海凌发布了新的文献求助10

14秒前; 火烧云关注了科研通微信公众号

15秒前; 啊啊啊啊发布了新的文献求助10

17秒前; 八月的傲娇的应助被Yhcir采纳，获得10

18秒前; 万能图书馆上传了应助文件

20秒前; 银样镴枪头完成签到，获得积分10

20秒前; 666完成签到，获得积分10

20秒前; 凌代萱完成签到，获得积分10

20秒前; 欢呼以晴上传了应助文件

21秒前; 顾矜上传了应助文件

22秒前; 科研通AI2.0上传了应助文件

24秒前; 英姑的应助被blow采纳，获得30

26秒前; 魏青白发布了新的文献求助10

28秒前; 梦想去广州当靓仔发布了新的文献求助10

29秒前; 称心茹嫣完成签到，获得积分10

30秒前; ccc完成签到，获得积分10

30秒前; 菠萝冰棒完成签到，获得积分10

31秒前; Lucas的应助被车衣采纳，获得10

33秒前; shiqiutong完成签到，获得积分10

34秒前; 银样镴枪头发布了新的文献求助10

36秒前; 搜集达人的应助被dadada采纳，获得10

37秒前; 桐桐上传了应助文件

38秒前; lsk完成签到，获得积分10

38秒前; 勤奋的白桃完成签到，获得积分20

40秒前; 书宝宝完成签到，获得积分10

41秒前; SOLOMON上传了应助文件

42秒前; 乐乐的应助被健康的天思采纳，获得30

42秒前; 勤奋的白桃发布了新的文献求助10

42秒前; 果酱的奥特曼完成签到，获得积分10

42秒前; rachel发布了新的文献求助10

45秒前; zqlxueli发布了新的文献求助10

46秒前; 搜集达人上传了应助文件

51秒前