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标题
[高分] Microstructural and Nanomechanical Properties of Aluminium Nitride (AlN) Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering
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材料科学 溅射沉积 薄膜 氮化物 复合材料 溅射 氮化铝 物理气相沉积 腔磁控管 纳米压痕 基质（水族馆） 微观结构 高功率脉冲磁控溅射 氮化铬 铝
网址
https://doi.org/10.1166/asl.2018.12209
DOI
10.1166/asl.2018.12209 doi
其它 期刊：Advanced Science Letters
作者：G Balakrishan; A. Karthik Kumar; M Kannan; K Manikandan; V Karthikeyan; et al
出版日期：2018
求助人
Erich 在 2022-01-07 10:55:11 发布，悬赏 100 积分
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