Femtosecond laser ultrasonic inspection of a moving object and its application to estimation of silicon wafer coating thickness

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标题	Femtosecond laser ultrasonic inspection of a moving object and its application to estimation of silicon wafer coating thickness 飞秒激光超声检测运动物体及其在硅片镀层厚度估算中的应用相关领域材料科学薄脆饼飞秒激光器光学硅超声波传感器脉冲持续时间光电子学超短脉冲超短脉冲激光器声学物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2021.106778
DOI	10.1016/j.optlaseng.2021.106778 doi
其它	期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Kiyoon Yi; Peipei Liu; Seong-Hyun Park; Hoon Sohn 出版日期：2022-01-01
求助人	zgq 在 2023-12-06 21:57:47 发布自四川，悬赏 10 积分
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