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 Effect of Ar Ion Beam Pre-Treatment of Poly(ethylene terephthalate) Substrate on the Mechanical and Electrical Stability of Flexible InSnO Films Grown by Roll-to-Roll Sputtering System Ar离子束预处理聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底对卷对卷溅射系统生长的柔性InSnO薄膜力学和电学稳定性的影响
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kwang-Hyuk Choi; Han-Ki Kim 出版日期：2013-10-01 |
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