Chemical‐Resistant, Highly‐Impermeable Integration of Large Differential Semiconductor and Oxide by Spatial‐Confined Plasma Assisted Ultrafast Laser Microwelding for Optofluidic Microsystem

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标题	Chemical‐Resistant, Highly‐Impermeable Integration of Large Differential Semiconductor and Oxide by Spatial‐Confined Plasma Assisted Ultrafast Laser Microwelding for Optofluidic Microsystem 用于光流控微系统的空间受限等离子体辅助超快激光微焊接大差分半导体和氧化物的耐化学腐蚀、高度不可渗透集成
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/smll.2025008...
DOI	10.1002/smll.202500881 doi
其它	期刊：Small 作者：Yifan Hu; Luchan Lin; Junde Ji; Weiqing Wu; Xinde Zuo; et al 出版日期：2025-04-24
求助人	zho 在 2025-04-25 12:37:40 发布自北京，悬赏 10 积分
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