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  Towards the Fabrication of High-Aspect-Ratio Silicon Gratings by Deep Reactive Ion Etching 深反应离子刻蚀制备高纵横比硅光栅
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期刊：Micromachines 作者：Zhitian Shi; Konstantins Jefimovs; Lucia Romano; Marco Stampanoni 出版日期：2020-09-18 |
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