Reliable EUV lithography via on-wafer conversion of multinuclear tin photoresists with improved time-dependent hydrolytic stability

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标题	Reliable EUV lithography via on-wafer conversion of multinuclear tin photoresists with improved time-dependent hydrolytic stability
网址	http://dx.doi.org/10.1039/d6tc02228f
DOI	10.1039/d6tc02228f doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Yeo Kyung Kang; Yu Jin Jo; Chul Gyu Lee; Yu Seok Ham; Hoyoung Kim; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	板栗在 2026-10-16 19:32:35 发布自湖南，悬赏 10 积分
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