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Effect of an in situ hydrogen plasma pre-treatment on the reduction of GaSb native oxides prior to atomic layer deposition
原位氢等离子体预处理对GaSb原生氧化物原子层沉积前还原的影响
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期刊:Applied Surface Science 作者:Erin R. Cleveland; Laura B. Ruppalt; B. R. Bennett; S. M. Prokes 出版日期:2013-07-01 |
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