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 A novel telecentricity measuring method for illumination system in lithography based on pinhole imaging 基于针孔成像的光刻照明系统远心测量新方法
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期刊：Optik 作者：Zhenfen Huang; Yiping Cao; Shunping Shi; Deliang Chen; Aiping Zhai 出版日期：2013-06-01 |
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