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 Effect of SiO2 protective layer on LiNbO3 structured SAW resonators and temperature characteristics study SiO2保护层对LiNbO3结构声表面波谐振器的影响及温度特性研究
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期刊：Journal of micromechanics and microengineering 作者：Qiang Liu; Wenlong Yang; Chi Chen; Hongyuan Li; Hong Xu 出版日期：2023-08-31 |
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