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 Formation of SiH bonds on the surface of microcrystalline silicon covered with SiOx by HF treatment HF处理SiOx复盖微晶硅表面SiH键的形成
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期刊：Solid State Communications 作者：H. Ubara; Toru Imura; Akio Hiraki 出版日期：1984-05-01 |
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