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标题
A low-cost and high-efficiency method for four-inch silicon nano-mold by proximity UV exposure
一种低成本高效率的四英寸硅纳米模具近紫外曝光方法
相关领域
材料科学 模具 薄脆饼 纳米- 反应离子刻蚀 制作 纳米技术 蚀刻(微加工) 平版印刷术 紫外线 光电子学 复合材料 医学 替代医学 图层(电子) 病理
网址
DOI
10.1088/1361-6528/ac25ab doi
其它 期刊:Nanotechnology
作者:Lei Sun; Helin Zou; Shengbo Sang
出版日期:2021-09-10
求助人
抱住仙人球 在 2025-08-30 19:15:03 发布,悬赏 10 积分
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