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  Design and fabrication of nanometer measurement platform for better understanding of silicon mechanical properties 用于更好地了解硅力学性能的纳米测量平台的设计和制造
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Maciej Haras; J.F. Robillard; T. Skotnicki; Emmanuel Dubois 出版日期：2023-07-14 |
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lilijiang
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