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Reactor concepts for atomic layer deposition on agitated particles: A review
搅拌颗粒上原子层沉积的反应器概念:综述
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Delphine Longrie; Davy Deduytsche; Christophe Detavernier 出版日期:2013-12-27 |
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