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 Thermally driven multi-layer actuator for 2D cantilever arrays 热力驱动的二维悬臂阵列多层致动器
相关领域
悬臂梁
压阻效应
执行机构
材料科学
偏转（物理）
光电子学
微电子机械系统
硅
图层（电子）
纳米技术
复合材料
电气工程
光学
工程类
物理
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期刊：Applied Physics A 作者：Y. Sarov; Tzvetan Ivanov; Andreas Frank; Ivo W. Rangelow 出版日期：2010-10-19 |
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